ホウ素ドープダイヤモンド電極
ホウ素ドープダイヤモンド電極(BDD：Boron Doped Diamond)
電気化学応用向けのホウ素ドープダイヤモンド電極 (BDD)
環境負荷を減らすなど、様々な機能を実現
不純物であるホウ素をドーピングしたダイヤモンド (BDD：Boron Doped Diamond) は金属様導電性を示す事が知られており、その性質を利用して電気化学分野（例：水の電気分解）における電極として使うことができます（ダイヤモンド電極）。
ニオブ(Nb)やシリコン基板上にBDD薄膜を形成した電極は、水処理、各種物質の分解・合成、さらに液中の様々な物質を検出するための濃度センサとして使用できます。サイオクスではBDD電極、センサの開発にも力を入れています。
用途
- 電気化学センサ
（例 オゾン水濃度センサ、各種修飾センサ） - 電解電極
（例 水処理、オゾン水生成電極、CO2還元電極）
特徴
- 電気化学センサ：高感度、高安定（感度バラツキが小さい）
- 電解電極：高い耐久性
製品
- BDD成膜品（BDD成膜用基板として、Si基板、Nb金属などが使用可能です。）
ホウ素ドープダイヤモンド電極基板（Si基板）
ホウ素ドープダイヤモンド電極基板
（Nbメッシュ基板）
SEM写真
ラマンデータ
BDDセンサ（Ready-to-use）
主な仕様
| 製品 | 項目 | 仕様 |
|---|---|---|
| BDD成膜基板 | 使用基板 | Si基板 Nb金属 他 |
| 基板サイズ | 最大12インチ（Si基板） | |
| Bドーピング濃度 | 1e20cm-3 〜 5e21cm-3 | |
| BDD厚み | 1μm 〜 8μm | |
| BDD成膜チップ | 使用基板 | Si基板 他 |
| チップサイズ | 最小2mm | |
| 裏面メタル | Ti/Au蒸着可 | |
| BDDセンサ | BDDチップを実装した3電極センサ | |
- ＊＊略語の説明
BDD: Boron Doped Diamond