GaNテンプレート
用途
- 照明、ディスプレイ用の青色/白色LED
- GaNパワースイッチングデバイス
特徴
- HVPE法により高い結晶性、膜厚均一性、表面品質を実現
- 2～6インチのフラット（FSS）および加工サファイア基板（PSS）に対応
- 当社テンプレートの使用により、MOVPEプロセスの短縮、生産性の向上、性能改善が可能
- XRDの半値幅（FWHM）
FSS上テンプレート：
(0004) <250sec, (10-12)<350sec
PSS上テンプレート：
(0004) <160sec, (10-12)<200sec
製品
- 2～6インチGaNテンプレート（FSSあるいはPSS上）
- 厚膜GaNテンプレート（20μmまで対応可能）
- 高濃度N型ドープ層付きGaNテンプレート（n=<1e19/cm3）